喷头洁净度“体检”新方案：Sensofar S neox让CVD工艺隐患无所遁形

2026-10-20 10:10 I 阅读：5

针对CVD喷头质控需求，Sensofar的S neox利用干涉技术，提供高效检测方案：5倍物镜4秒快速扫描排查疑似残留物，50倍物镜2秒精准成像观测微纳米细节；低噪声特性不受倍率限制，可捕捉纳米级缺陷，全程无需接触样品表面，避免二次污染或损伤，特别适用于对洁净度要求极高的CVD喷头检测，为喷头清洁度验证提供可靠支撑，筑牢薄膜工艺质量防线。