2026/09/15 14:31 I 阅读:1
视芯光学推出T100非接触式光学测量仪器,针对MEMS器件、生物医学样品及精密光学元件等脆弱或柔软材料,提供无损三维形貌表征方案。该设备通过光媒质避免物理损伤,支持厚度、粗糙度及动态演变过程分析,满足先进制造与科研领域对敏感样品的定量化表面计量需求。
在MEMS器件领域,微小悬臂梁和薄膜结构易受机械探针接触引发的变形、粘连或断裂影响。T100以光为测量媒介,全程无需接触,能够安全获取这些微结构的静态三维形貌,测量其厚度、弯曲程度及应力梯度释放后的形变,为器件设计与可靠性评估提供数据支撑。在生物医学领域,针对生物组织切片、水凝胶支架及高分子药物涂层等质地柔软的样品,T100的非接触方式可无损测量其表面拓扑结构、孔隙率及粗糙度,对研究材料与细胞的相互作用、药物释放行为等具有重要意义。
在光学与光电子行业,非球面透镜、衍射光学元件及激光晶体等精密光学元件经精细抛光后,接触式测量存在划伤风险,可能影响性能。T100能够安全评估这些高价值光学表面的面形精度、粗糙度及亚表面缺陷。在半导体行业,对洁净硅片、光刻胶图形及低k介质层进行表面检查时,为避免引入污染或损伤,非接触光学测量成为优选方案。
非接触测量不施加测量力,能真实反映超薄金属片和高分子薄膜等极薄、易弯曲样品在自由状态下的表面形貌。此外,T100具备快速扫描特性,便于对同一区域进行重复测量,研究表面在温度、湿度、载荷等外界环境变化下的动态演变过程,且不会因接触干扰该过程。
视芯光学T100的非接触测量特性拓展了表面计量技术的应用范围,实现了敏感、珍贵或柔软样品的定量化表面分析,适应了先进制造与前沿科研的多样化需求。
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