ContourX-500 光学轮廓仪是一款非接触式 3D 表面计量自动化台式系统,适用于精密加工、半导体工艺及 MEMS 器件等场景的表面形貌快速表征。
设备集成自动倾斜光学测头技术,支持对特定角度范围内的表面特征进行编程化自动测试,有效降低跟踪误差,提升测量稳定性。
在紧凑的台式结构内,该仪器实现了高 Z 轴分辨率与准确性,具备白光干涉仪(WLI)的典型性能优势,同时节省实验室空间。
配备直观的用户界面,支持调用多种预设滤镜与分析工具;引入 USI 通用扫描模式,可针对不同复杂应用场景灵活定制分析方法。
主要应用涵盖精密加工表面检测、半导体工艺制程监控,以及眼科材料和 MEMS 器件的研发表征。