Sensox 是一款集成共聚焦显微镜、白光干涉仪及多焦面叠加技术的非接触式表面形貌测量仪器。该设备通过单一传感器头实现多种光学测量模式的切换，适用于从超光滑到粗糙表面的高精度三维形貌重建与关键尺寸分析，广泛应用于微电子、半导体工艺分析及精密制造领域。
核心硬件采用无运动部件的传感器设计，集成以下三种主要测量技术：
共聚焦显微术（Confocal）：采用 Microdisplay 扫描方式，提供高横向分辨率，适用于光滑至中等粗糙表面的形貌采集。
白光干涉术（White Light Interferometry）：包含 PSI（相移干涉）与 CSI（相干扫描干涉）模式。PSI 专用于超光滑表面的纳米级精度测量；CSI 适用于光滑至中等粗糙表面的大范围三维形貌重建。
Ai 多焦面叠加技术（AI Multi-Focus）：通过主动照明辅助聚焦，专为粗糙表面及大坡度形貌设计，在保持较高扫描速度的同时显著扩大垂直测量范围。
配套 SensoSCAN 软件提供引导式操作界面，支持单次点击切换测量模式，无需手动更换硬件。系统具备自动 3D 功能，可自动优化照明条件与测量范围，降低对操作人员经验的依赖。针对工业质量控制场景，SensoPRO 模块支持操作权限管理、测量配方存储及条码/二维码读取器兼容，可自动生成合格/不合格判定报告。数据分析功能符合 ISO 25178 标准，支持提取多项表面纹理参数，并可保存分析模板以应用于重复性测量任务。
该仪器适用于微电子、半导体、精密加工、光学元件、医疗器械及材料研究等实验室或产线环境，可在不损伤样品的前提下获取表面形貌、关键尺寸及纹理信息。
