2026/08/17 15:17 I 阅读:19
应用领域
半导体
检测样品
晶圆测试
检测项目
无
参考标准
/
发布时间
2026/08/17
方案详情
在半导体、精密光学等高端制造领域,表面测量常面临"精度"与"范围"的两难——白光干涉(CSI)能扫数百微米却难及纳米级精度,相移干涉(PSI)达亚纳米精度却量程受限。而Sensofar的ePSI技术,用创新融合破解了这一难题。
产品配置单
分析仪器
下载方案
Sensofar3D光学轮廓仪在ePSI技术融合测量上的应用.pdf
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