2026/10/26 13:26 I 阅读:7
应用领域
半导体
检测样品
表面形貌与粗糙度分析
检测项目
无
参考标准
/
发布时间
2026/10/26
方案详情
Sensofar S neox 3D光学轮廓仪以干涉技术为核心,搭载50倍物镜,可在2秒内完成目标区域高速扫描,以纳米级纵向分辨率精准捕获印记深度信息。借助SensoPRO分析插件,系统能够自动执行批量数据处理,统计输出最大深度、平均深度等关键指标。整个测量流程采用非接触光学方式,避免对样品造成任何机械损伤,在完整量化压痕损伤程度的同时,为探针压力工艺参数的优化调整提供可信赖的数据支撑。
产品配置单
分析仪器
下载方案
芯片测试中的微观足迹Sensofar为探针压痕测量带来的非接触式解决方案.docx
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